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Won Kyun Yang

공동저술논문수 : 1

주정훈 논문수 · 이용수 7,332 · 피인용수 24

소속기관: 군산대학교

소속부서: 신소재공학과

주요 연구분야: 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 기계공학 > 자동차공학

연구경력: -

저자정보 . 논문
공저자 . 저널

저자의 연구 키워드

저자의 연구 키워드: #450 ㎜ 웨이퍼 시스템; #450 ㎜ wafer system; #내장형 안테나; #수치 해석; #스퍼터링; #양극성 펄스직류; #온도분포; #웨이퍼 가열; #유도 결합 플라즈마; #전산 유체 역학; #타겟표면; #플라즈마; #플라즈마 균일도; #AZO; #Bacteria; #Bipolar plate; #Bipolar pulsed dc; #Carbon fiber; #Carbonization; #CCP; #CFD-ACE; #CFD-ACE+; #Chemical vapor deposition; #Fluid simulation; #Fuel cell; #Indium tin oxide (ITO); #Induction heating; #Inductively coupled plasma; #Inductively coupled plasma (ICP); #ITO(Indium-Tin-Oxide); #Magnetic field; #Magnetron; #magnetron sputtering; #Melting; #Microwave plasma; #MPP(Modulated Pulse Power); #Nano thin film; #Nitriding; #Numerical model; #Numerical modeling; #PAN; #particle simulation; #Plasma; #Plasma modeling; #Plasma shape; #Plasma uniformity; #Plasma volume; #Pulse bias; #Pulsed dc; #QMS; #Reflecting plate; #Resistivity; #Room temperature; #Si 식각; #Sputtering; #Substrate rotating; #Substrate temperature uniformity; #Target surface; #Temperature distribution; #Transmittance; #Transmitting plate; #UBM; #Uniformity; #UV-Ozone sterilizer

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	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
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