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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
1,760 - 1,763 (4page)

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This paper presents 3-axis high-precision dual-stage compatible with 300㎜ wafer. The proposed dualstage system consists of a fine stage for XYθ motion and a coarse stage for large travel. The fine stage uses four voice coil motors and air bearings which make mechanically decoupled plane motion on granite base. The coarse stage carry coil blocks which make Lorentz force against the fine stage with the range of 500㎜×500㎜ using three linear motors. To get precise position of the fine stage, laser interferometers and plane mirrors are adopted. The proposed dual-stage has good performance in both step and scan motion control. Experimental results show the positioning error is about 10㎚ and the tracking error in the scan motion is about 40㎚.
#High precision stage(초정밀 스테이지) #Voice coil motor(보이스 코일 모터)

목차

Abstract
1. 서론
2. Decoupled 이중 스테이지 시스템
3. 이중 스테이지 제어
4. 결론
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