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학술저널
저자정보
최영재 (한국생산기술연구원) 송기형 (한국생산기술연구원) 이석우 (한국생산기술연구원) 최헌종 (한국생산기술연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.31 No.3
발행연도
2014.3
수록면
181 - 187 (7page)

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Micro patterns are used to maximize the performance and efficiency of the product in many industries such as energy, display, printing, biology, etc. Nowadays, the fabrication technology for micro patterns has been developed in various ways such as photolithography, laser machining, electrical discharge machining and mechanical machining. Recently, mechanical machining the size of smaller than 1 micrometer could be tried, because the technology related to the machining was developed brilliantly. This paper shows the experiments using cutting processes in order to fabricate the micro pattern. Micro patterns of the size of several micrometers were machined by the diamond tools of two different shape, the deformation and generation of burr were investigated.
#Micro Machining (미세 가공) #Diamond Tool (다이아몬드 공구) #Micro Pattern (미세 패턴) #Diffractive OpticalElement (회절 광학 소자)

목차

1. 서론
2. 실험 장치
3. 가공 실험 방법
4. 가공 실험 결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
Yan, J. / 2009 / Precision Machining of Microstructures on Electroless-plated NiP Surface for Molding Glass Components / J. Mater. Process. Technol 209(10):4802~4808 google schola Takeuchi, Y. / 2002 / Manufacture of Multiple-focus Micro Fresnel Lenses by Means of Nonrotational Diamond Grooving / CIRP Ann. - Manuf. Technol. 51(1):343~346 google schola Tamagawa, Y. / 1998 / Efficiency of Blazed Diffractive Optics Produced by Diamond Turning / Optical Review 5(5):291~294 google schola Blough, C. G. / 1997 / Single-Point Diamond Turning and Replication of Visible and Near-infrared Diffractive Optical Element / Applied Optics 36(20):4648~4654 google schola Riedl, M. J. / 1995 / Diamond-Turned Diffractive Optical Elements for the Infrared / Proc. of SPIE 2540:257~268 google schola

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