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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김호건 유승현 (전북대학교) 오성훈 (전북대학교) 소병문 (전북대학교)
저널정보
한국기계기술학회 한국기계기술학회지 한국기계기술학회지 제24권 제4호
발행연도
2022.8
수록면
750 - 754 (5page)

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In this study, we intend to develop a control valve with oxidation resistance for hydrogen fluoride that can be applied to the semiconductor production process. Operated Valves currently in use is a form of assembling an air cylinder to the valve body. These valves generally have a cylinder body made of aluminum (Al), so they may corrode depending on the external environment, and the solution leaks along the rod inside the cylinder, causing damage to parts due to corrosion. To solve this problem, the valve plug shape was developed by devising and applying a plug using a valve different from the existing method, and it is possible to block the inflow of hydrogen fluoride into the valve control unit, thereby preventing damage to parts as well as maintaining stable valve operation.
#Semiconductor(반도체) #Hydrogen fluoride(불화수소) #Control valve(컨트롤Valve) #Wafer(웨이퍼)

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